Az EUV litográfia alapvető fontosságú eljárás a korszerű félvezetők esetében. Azaz nincs nélküle chipgyártás, ami nélkül pedig a modern társadalom sem igazán működőképes. A módszer hozzájárul ahhoz, hogy a chipek energiahatékonyak legyenek, a litográfia gépei viszont csak úgy falják az energiát.